Atovac

Lịch sử phát triển của Atovac

Atovac phát triển mạnh mẽ qua các giai đoạn cụ thể:

• 1997: Thành lập GAT Co. LTD, khởi đầu cho chuỗi nghiên cứu và sản xuất thiết bị điều khiển khí–chân không.

• 1998–2003: Ra mắt dòng controller GMC100A, GMC200A, GMC300D; phát triển Pirani gauge CG201 và cung cấp cho LG PDP Line (A2).

• 2004–2010: Giới thiệu Vacuum Gauge Controller GVC2200; phát triển van tiết lưu ATV1000/2000; đạt chứng nhận CE cho van tiết lưu và APC Controller; cung cấp cho Samsung quy trình PoCl₃.

• 2012–2016: Hoàn thiện Convection Gauge EG301; ra mắt MEMS Pressure Gauge MPG; đạt chứng nhận chống nổ cho MPG; thành lập viện nghiên cứu nội bộ và cải tiến liên tục các dòng MFC, controller.

Danh mục sản phẩm chính

Bộ điều khiển (Controller)

Atovac cung cấp nhiều dòng bộ điều khiển chất lượng cao, từ GMC100A/200A đến GMC1200, đáp ứng yêu cầu điều khiển lưu lượng và áp suất với độ chính xác ±0.5% FS.

Mass flow controller (MFC Atovac)

MFC Atovac nổi bật nhờ công nghệ van cầu chính xác, cho phép điều chỉnh lưu lượng khí ổn định, phản hồi nhanh trong dải 0–100 sccm đến 0–100 slm. Thiết bị phù hợp cho ứng dụng CVD, PVD và etch trong ngành bán dẫn.

Đồng hồ đo chân không Atovac (Vacuum gauge)

Atovac phát triển đa dạng vacuum gauge:

• Convection Gauge (CG series): đo áp suất 10⁻³–10³ Torr.

• Ion Gauge (IG series): đo áp suất 10⁻⁹–10⁻³ Torr.

• Capacitance Manometer (CM series): đo áp suất chính xác 0–1000 Torr.
  Các đồng hồ này có controller tích hợp, giao tiếp RS‑232/RS‑485 tiện dụng

Van tiết lưu Atovac (Throttle valve)

Van ATV1000 và ATV2000 của Atovac cho phép điều chỉnh áp suất chân không với độ tuyến tính cao và tuổi thọ van lên đến 10^7 chu kỳ. Thiết kế chịu nhiệt, chống ăn mòn, phù hợp môi trường plasma.

Tấm hộp MFC & hệ thống luồng khí Atovac (MFC box panel & gas flow system)

Giải pháp tích hợp nhiều kênh (2–6 channel) trong một MFC Control Box (AMCB), kết nối dễ dàng với hệ thống gas line, giảm thiểu lỗi rò rỉ và tối ưu diện tích lắp đặt.

Ứng dụng và lợi ích

Ứng dụng trong sản xuất bán dẫn

• Etching: điều khiển chính xác khí ăn mòn.

• CVD/ALD: phân phối đồng đều khí tiền chất.

• Plasma processing: ổn định áp suất buồng.

Lợi ích vượt trội

• Độ chính xác cao: giúp nâng cao tỷ lệ sản phẩm đạt chuẩn.

• Độ tin cậy: thiết kế công nghiệp, bảo trì dễ dàng.

• Chi phí cạnh tranh: giá tốt so với sản phẩm ngoại nhập.

Cam kết chất lượng và chứng nhận

Atovac tuân thủ quy trình quản lý chất lượng ISO 9001 và chứng nhận CE cho nhiều dòng sản phẩm. Mỗi thiết bị đều trải qua thử nghiệm rò rỉ, độ bền, hiệu suất trước khi xuất xưởng.

Tầm nhìn và hướng phát triển tương lai

Nhìn về tương lai, Atovac tập trung đầu tư R&D cho các “smart components” kết nối IoT, phát triển giao diện phần mềm trực quan, mở rộng kênh phân phối toàn cầu.